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ALD 用戶經(jīng)典文獻(xiàn)分享|非均勻 ALD 涂層包覆 NCM 工藝的界面研究

發(fā)布時(shí)間: 2024-12-25  點(diǎn)擊次數(shù): 1276次

 

作者:科羅拉多大學(xué) Amanda L. Hoskins 等人

文章:Nonuniform Growth of Sub?2 Nanometer Atomic Layer Deposited Alumina Films on Lithium Nickel Manganese Cobalt Oxide Cathode Battery Materials

 

摘要

 

鋰離子電池的廣泛應(yīng)用在很大程度上依賴于正極材料的性能。然而,這些材料在循環(huán)過(guò)程中容易出現(xiàn)容量衰減、過(guò)渡金屬溶解和結(jié)構(gòu)失穩(wěn)等問(wèn)題,限制了電池的使用壽命和穩(wěn)定性。鋰鎳錳鈷氧化物(LiNi0.33Mn0.33Co0.33O2,簡(jiǎn)稱NMC111)是一種高效的正極材料,但其穩(wěn)定性較差,尤其是在高電壓條件下。

 

 

表面工程是解決這些問(wèn)題的重要策略,其中,通過(guò)涂覆薄膜保護(hù)正極顆粒表面可有效減少電解質(zhì)與活性材料之間的副反應(yīng)。原子層沉積(ALD)技術(shù)因其精確的厚度控制和高均勻性,成為研究熱點(diǎn)。然而,大多數(shù)研究假設(shè) ALD 涂層為均勻覆蓋,忽視了薄膜在低循環(huán)數(shù)下的非均勻性及其對(duì)電池性能的潛在影響。本文作者借助 Forge Nano 流化床原子層沉積系統(tǒng),通過(guò)多種表面分析技術(shù),系統(tǒng)研究了低循環(huán)數(shù) ALD 氧化鋁涂層在 NMC111 表面的非均勻生長(zhǎng)特性及其對(duì)電池性能的影響,為優(yōu)化涂層設(shè)計(jì)提供了新的思路。

 

實(shí)驗(yàn)方法

 

本研究選用商業(yè)化的NMC111(LiNi0.33Mn0.33Co0.33O2)作為研究對(duì)象,通過(guò)使用 Forge Nano 流化床原子層沉積系統(tǒng)進(jìn)行ALD氧化鋁薄膜的沉積。實(shí)驗(yàn)中,氧化鋁 ALD 薄膜通過(guò) TMA/水反應(yīng)在 NMC111 顆粒表面生長(zhǎng),反應(yīng)溫度為 120°C。通過(guò)低能離子散射(LEIS)和二次離子質(zhì)譜(SIMS)等表征手段,對(duì)不同 ALD 循環(huán)次數(shù)下薄膜的生長(zhǎng)特性進(jìn)行了深入分析。

 

結(jié)果與討論

 

1.ALD 薄膜的非均勻生長(zhǎng)特性

 

通過(guò) LEIS 和 SIMS 分析,研究發(fā)現(xiàn)在低循環(huán)次數(shù)下,ALD 氧化鋁薄膜在 NMC111 顆粒表面的生長(zhǎng)是非均勻的。在低于 10 個(gè) ALD 循環(huán)時(shí),薄膜并未全覆蓋顆粒表面,而是優(yōu)先在過(guò)渡金屬結(jié)合位點(diǎn)上沉積,而對(duì)表面的鋰覆蓋較少。即使在 10 個(gè) ALD 循環(huán)后,鋰仍然存在于正極粉末表面。這一發(fā)現(xiàn)與現(xiàn)有假設(shè)相悖,即 ALD 薄膜在顆粒上均勻生長(zhǎng)并全覆蓋表面。

 

2.ALD 薄膜對(duì)電池性能的影響

 

盡管 ALD 薄膜在 NMC111 顆粒表面的沉積是非均勻的,但研究表明這種非均勻性可能對(duì)電池性能有積極影響。非均勻的 ALD 薄膜在穩(wěn)定過(guò)渡金屬氧化物的同時(shí),并未阻斷鋰離子的插層通道,從而在電解液存在的情況下提高了電池正極活性材料的循環(huán)穩(wěn)定性。這一發(fā)現(xiàn)證實(shí)了在 ALD 涂層正極顆粒的合成表面上鋰仍然暴露,并且當(dāng)使用少于 10 個(gè) ALD 循環(huán)時(shí),ALD 薄膜是非均勻生長(zhǎng)的。

 

3.ALD 薄膜生長(zhǎng)機(jī)制的探討

 

鋰離子電池的廣泛應(yīng)用在很大程度上依賴于正極材料的性能。然而,這些材料在循環(huán)過(guò)程中容易出現(xiàn)容量衰減、過(guò)渡金屬溶解和結(jié)構(gòu)失穩(wěn)等問(wèn)題,限制了研究進(jìn)一步探討了 ALD 薄膜的生長(zhǎng)機(jī)制。

 

結(jié)果表明,ALD 過(guò)程以復(fù)雜的方式發(fā)展,初始沉積優(yōu)先覆蓋了 Mn、Co 和 Ni 過(guò)渡金屬氧化物。超過(guò) 10 個(gè)循環(huán)后,Mn、Co 和 Ni 被全覆蓋,但 Al 信號(hào)持續(xù)增加,表明 ALD 層尚未全覆蓋表面。這一現(xiàn)象表明,一部分仍然暴露在外,且表面未被 ALD 層全覆蓋。

 

圖1展示了(a)鋁和(b)錳及鎳鈷特征峰的 LEIS 譜圖。隨著循環(huán)次數(shù)的增加,鋁信號(hào)增加,同時(shí)錳和鎳鈷信號(hào)相應(yīng)減少,表明薄膜正在基底表面形成。經(jīng)過(guò) 10 次氧化鋁 ALD 循環(huán)后,錳和鎳鈷的峰被全抑制。

 

圖2. 集成的 LEIS 數(shù)據(jù)表示隨著 ALD 循環(huán)次數(shù)增加的表面分?jǐn)?shù)覆蓋情況。Mn、Co 和 Ni 在 10 個(gè)TMA/H2O ALD 循環(huán)后被全覆蓋。然而,表面的鋁尚未達(dá)到全薄膜的飽和狀態(tài),這表明 ALD 優(yōu)先在Mn、Co 和 Ni 位點(diǎn)上沉積,而留下 Li 未被覆蓋,直到形成連續(xù)薄膜。

 

通過(guò) TOF-SIMS 分析,證實(shí)了 LEIS 的結(jié)果,即盡管 LEIS 無(wú)法直接測(cè)量鋰,但過(guò)渡金屬位點(diǎn)的全覆蓋發(fā)生在整個(gè)表面全覆蓋之前。耦合這些結(jié)果表明,ALD過(guò)程中,氧化鋁通過(guò)優(yōu)先覆蓋過(guò)渡金屬位點(diǎn)從而形成涂層。但在低循環(huán)次數(shù)下,外層由 Li、Al 和 O 組成,這可能是由于循環(huán)的死Li以及內(nèi)部 Li 遷移穿過(guò)基底和現(xiàn)有薄膜產(chǎn)生的表面位點(diǎn)。

 

圖3:來(lái)自 TOF-SIMS 分析的離子圖像。從上到下依次展示了 Li、Ni、Mn、Co 和 Al 信號(hào)的圖像,氧化鋁循環(huán)次數(shù)從左到右顯示。圖像顯示了隨著氧化鋁在樣品上的沉積,Li 的濃度逐漸降低。然而,與代表Ni、Mn 和 Co 的信號(hào)相比,Li 信號(hào)并未被全抑制。Ni、Mn 和 Co 信號(hào)的抑制表明它們幾乎被全覆蓋。TOF-SIMS 圖像中顏色的強(qiáng)度與測(cè)量深度內(nèi)的元素濃度相關(guān)。顏色強(qiáng)度可能相當(dāng)主觀,因此本研究的結(jié)果也通過(guò) 圖4 中呈現(xiàn)的信號(hào)計(jì)數(shù)以數(shù)值形式展示。15個(gè)循環(huán)的鋰圖像中可見(jiàn)的強(qiáng)度變化可以歸因于粒徑/曲率和z高度的大變化。

 

 

圖4:TOF-SIMS圖譜中 Li、Al、Ni、Mn 和 Co 的絕對(duì)信號(hào)計(jì)數(shù)。內(nèi)嵌表格展示了經(jīng)過(guò) 4 個(gè)循環(huán)和 15 個(gè)循環(huán)的氧化鋁 ALD 后,NMC 正極主要成分(Li、Ni、Mn 和 Co)相對(duì)于未涂層樣品的殘余信號(hào)百分比。這些值清楚地表明,ALD 更傾向于在過(guò)渡金屬表面位點(diǎn)上沉積氧化鋁,并且在此處展示的 15 個(gè) ALD 循環(huán)內(nèi),未能實(shí)現(xiàn)表面鋰的全覆蓋,即使氧化鋁的厚度超過(guò) 1 納米。

 

圖5:對(duì) LiOH、Li2CO3 和 NMC111 進(jìn)行 TMA/H2O ALD 循環(huán)后,比較了面積標(biāo)準(zhǔn)化的鋁(Al)重量百分比。ICPMS 得到的鋁重量百分比數(shù)據(jù)通過(guò)每個(gè)未涂層基底粉末的 BET 比表面積進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。LiOH 上相較于 Li2CO3 更高的生長(zhǎng)速率表明,在 Al2O3 ALD 過(guò)程中,這些表面表現(xiàn)出不同的特性,這對(duì)于觀察到的 NMC 基底上 Al2O3 的生長(zhǎng)有重要影響。看起來(lái)在最初的大約 9 個(gè) ALD 循環(huán)中發(fā)生了一些非 ALD 反應(yīng),可能是形成了 Li-Al 氧化物產(chǎn)物,直到從 10 到15 個(gè)循環(huán)時(shí)才沉積出典型的 Al2O3 ALD 薄膜。

 

圖6:使用 ALD 包覆后的 NCM111 材料的 EDS 分析

 

圖7:ALD 包覆 NCM111 材料的 TEM 圖像,顯示4 cycle 的包覆是不連續(xù)的涂層,15 cycle 的包覆形成了較為連續(xù)的涂層。

 

4  ALD 薄膜對(duì)電池性能提升的機(jī)制

 

基于上述結(jié)果,研究提出了 ALD 薄膜提升電池性能的可能機(jī)制。非均勻的低循環(huán) ALD 薄膜可能通過(guò)在前面 10 個(gè)循環(huán)內(nèi)產(chǎn)生的未受阻的路徑促進(jìn) Li 離子的移動(dòng),這些路徑由于表面覆蓋的非均勻性而使部分Li暴露。顯然,ALD 優(yōu)先在正極顆粒表面的過(guò)渡金屬結(jié)合位點(diǎn)上沉積,并在最初幾個(gè)循環(huán)中較少地覆蓋表面 Li 。對(duì)于 2nm 以下薄膜而言,了解此處報(bào)告的優(yōu)先沉積對(duì)于未來(lái)先進(jìn)工程正極顆粒表面至關(guān)重要,其中控制表面組分的穩(wěn)定可能產(chǎn)生一類新的高性能正極。

 

總結(jié)與結(jié)論

 

本研究通過(guò)實(shí)驗(yàn)和分析,揭示了 ALD 氧化鋁薄膜在 NMC 正極材料上的生長(zhǎng)特性和機(jī)制。研究發(fā)現(xiàn),低循環(huán)次數(shù)下 ALD 薄膜的生長(zhǎng)是非均勻的,這種非均勻性可能對(duì)電池性能有積極影響。非均勻的 ALD 薄膜在穩(wěn)定過(guò)渡金屬氧化物的同時(shí),并未阻斷鋰離子的插層通道,從而提高了電池正極活性材料的循環(huán)穩(wěn)定性。這一發(fā)現(xiàn)對(duì)于理解 ALD 薄膜如何提升電池性能具有重要意義,并為未來(lái)正極材料表面改性提供了新的思路。



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